Journals →  Цветные металлы →  2010 →  #5 →  Back

Магний, титан, редкие металлы, полупроводники
ArticleName Повышение производительности процессов получения поликристаллического кремния путем увеличения диаметров стержней-основ
ArticleAuthor Перетокин А. С.
ArticleAuthorData А. С. Перетокин, инженер-технолог, e-mail: peral1@yandex.ru, ФГУП «Горно-химический комбинат», г. Железногорск.
Abstract

Рассмотрен способ повышения производительности процессов получения поликристаллического кремния методом водородного восстановления за счет увеличения площади поверхности исходных стержней-основ. Показано, что прирост производительности возможен при использовании основ с размерами, находящимися в определенном интервале, причем максимальный прирост будет при использовании стержней оптимальных поперечных размеров (диаметра). Получено аналитическое выражение для нахождения оптимального значения диаметра в зависимости от характеристик оборудования. В результате анализа выявлены характеристики оборудования и параметры процесса, наиболее влияющие на эффективность рассмотренного способа.

keywords Поликристаллический кремний, водородное восстановление, хлорсилан, стержни-основы, степень извлечения, продолжительность операций, производительность, характеристики оборудования.
References

1. Иванов Л. С., Батов Д. В. // Высокочистые вещества.1994. № 5. С. 29–35.
2. Фалькевич Э. С., Пульнер Э. О. и др. Технология полупроводникового кремния. — М. : Металлургия, 1992. — 408 с.
3. Елютин А. В., Попов В. П., Иванов Л. С. и др. // Высокочистые вещества. 1996. № 1. С. 92–101.
4. Mozer A. Solar Poly Silicon Market and Technology Challenges // Semicon Russia PV conf. Мoscow, 2–4 июня 2008.

Language of full-text russian
Full content Buy
Back