• Покупка статей
  • Telegram_OreMet
Скрыть↑
Журналы →  Материалы электронной техники →  2011 →  №1 →  Назад

МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ. ПОЛУПРОВОДНИКИ
Название Магнетронное осаждение слоев диоксида титана с диагностикой плазмы высокочастотного разряда методом оптической эмиссионной спектроскопии
Автор Л. А. Балагуров, И. В. Кулеманов, А. Ф. Орлов, Е. А. Петрова
Информация об авторе Л. А. Балагуров, И. В. Кулеманов, А. Ф. Орлов, Е. А. Петрова, ОАО « Гиредмет»
Реферат
Для повышения воспроизводимости процесса магнетронного осаждения слоев диоксида титана применена оптическая эмиссионная спектроскопия. Наличие волоконно-оптического кабеля спектрометра Avantes позволяет регистрировать спектр в непосредственной близости от области плазменного разряда, а 2048-элементный детектор на основе кремниевой ПЗС-линейки обеспечивает одновременную и практически мгновенную регистрацию с достаточным разрешением всего спектра в диапазоне длин волн 350—810 нм. Линии излучения плазмы Ti и Ar идентифицированы и использованы для контроля технологического процесса. Исследованы зависимости интенсивности линий излучения от значения анодного тока. Получены образцы слоев титана при больших токах, а затем при уменьшении тока осажден TiO с металлической проводимостью, TiO2 c проводимостью от 10-2 Ом · см до очень низких значений. Установлено, что в результате управления процессом по интенсивности линии излучения титана разброс значений удельного сопротивления слоев диоксида титана, изготовленных при одинаковых режимах, существенно уменьшился.
Ключевые слова Диоксид титана, плазма, оптическая эмиссионная спектроскопия.
Библиографический список
1. Zaleska, A. Doped-TiO2: A review / A. Zaleska // Recent Pat. on Eng. - 2008. - V. 2, N 3. - P. 157—164.
2. Li, B. Review of recent progress in solid-state dye-sensitized solar cells / B. Li, L. Wang, B. Kang, P. Wang, Y. Qiu // Solar Energy Mater. Solar Cells. - 2006. - V. 90, N 5. - P. 549—573.
3. Janisch, R. Transition metal-doped TiO2 and ZnO — present status of the field / R. Janisch, P. Gopal, N. Spaldin // J. Phys: Condensed Matter. - 2005. - V. 17. — P. R657—R672.
4. UV Photodiodes with large active areas // http://www.sglux.de/products_of_sglux_SiC_photodio.22.0.html?&L=1&tx_ttproducts_pi1[cat]=20 TiO2.
5. Sproul, W. D. Control of reactive sputtering processes / W. D. Sproul, D. J. Christie, D. C. Carter // Thin Solid Films. - 2005. - V. 491, N 1–2. - P. 1—17.
6. Tang, J. P—T boundary of PbO2-type and baddeleyite type high-pressure phases of titanium dioxide / J. Tang, J. Endo // J. Amer. Ceramic Soc. - 1993. - V. 76, N 3. - P. 796—798.
7. Ardakani, H. K. Electrical and optical properties of in situ «hydrogen-reduced» titanium dioxide thin films deposited by pulsed excimer laser ablation / H. K. Ardakani // Thin Solid Films. - 1994. - V. 248, N 2. - P. 234—239.
8. Forro, L. High mobility n-type charge carriers in large single crystals of anatase (TiO2) / L. Forro, O. Chauvet, D. Emin, L. Zuppiroli, H. Berger, F. Lévy // J. Appl. Phys. - 1994. - V. 75, N 1. - P. 633—635.
9. Hasiguti, R. R. Electrical conductivity below 3 K of slightly reduced oxygen-deficient rutile TiO2-x / R. R. Hasiguti, E. Yagi // Phys. Rev. B. - 1994. - V. 49, N 11. - P. 7251—7256.
10. Зайдель, А. Н. Таблицы спектральных линий / А. Н. Зайдель, В. К. Прокофьев, С. М. Райский - М. : Наука, 1969. - C. 800.
11. Rossnagel, S. M. Optical emission in magnetrons: Nonlinear aspects / S. M. Rossnagel, K. L. Saeger // J. Vac. Sci. and Techn. A. - 1989. - V. 7, N 3. - P. 968—971.
12. Hoffman, D. W. A sputtering wind / D. W. Hoffman // Ibid. - 1985. - V. 3, N 3. - P. 561—566.
13. Rossnagel, S. M. Gas density reduction effects in magnetrons / S. M. Rossnagel // Ibid. - 1988. - V. 6, N 1. - P. 19—24.
Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад