Журналы →
Цветные металлы →
2006 →
№9 →
Назад
Назад
| КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ И МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПОКРЫТИЯ | |
| Название | Новые функциональные градиентные мишени на основе карбида и силицида титана для магнетронного распыления биосовместимых покрытий |
| Автор | Левашов Е. А., Сенатулин Б. Р., Епишко Ю. К. |
| Реферат | Приведены результаты экспериментальных исследований с участием молодых ученых по созданию СВС-технологии производства функциональных градиентных материалов (ФГМ) для мишеней с распыляемым рабочим слоем в системах TiC0.53-Ti3POx-СаО, TiC0,34O0,21–CaO, Ti5Si3-αTi, Ti5Si3-αTi–CaO. Установлено образование широких переходных диффузионных зон между слоями, обеспечивающих их прочное сцепление. Изучена микроструктура, фазовый состав и твердость продуктов синтеза в зависимости от массы «химической печки», используемой для дополнительного подогрева продуктов реакции низкоэкзотермической смеси. Установлены закономерности структурообразования продуктов синтеза. Варьирование массы слоя «химической печки» дает ощутимый эффект снижения остаточной пористости и укрупнения зерен присутствующих фаз в результате развития процессов вторичной рекристаллизации. Проведена оптимизация технологических параметров процесса силового СВС-компактирования. Разработана технологическая инструкция на процесс получения ФГМ-мишеней для магнетронного напыления функциональных и многофункциональных покрытий. Разработаны технические условия на новые составы ФГМ-мишеней. Изготовлены опытно-промышленные партии дисковых и сегментных мишеней размером 140x110 мм и диаметром 100-125 мм, толщиной 6-10 мм. СВС – самораспространяющийся высокотемпературный синтез (self-distributing high-temperature synthesis) |
| Language of full-text | русский |
| Полный текст статьи | Получить |
