Ioffe Physico–Technical Institute of Russian Academy of Sciences

I. L. Shulpina

FID Technology Ltd., Power Semiconductors Ltd

V. A. Kozlov

The defects in silicon based multilayer epitaxial structures intended for power epitaxial−diffusion devices as initial material were studied by x−ray topography techniques. It was shown the dislocation nets with non−uniform distribution of dislocations both over thickness and layer square in the form of dense rows (dislocation walls) or slip bands were principal defects in initial epitaxial layers and have influenced on electrical characteristics of power devices.

1. Antsiferov, V. N. Problemy poroshkovogo materialovedeniya. Ch. IV. Tekhnologiya proizvodstva poroshkovykh ferritovykh materialov / V. N. Antsiferov, L. M. Letyuk, V. G. Andreev, A. N. Dubrov, A. V. Gonchar, V. G. Kostishin, A. I. Satin. − Ekaterinburg: UrO RAN, 2005. − 407 s.
2. Prilipko, Yu. S. Vliyanie sredy spekaniya na svoystva keramiki na osnove tsirkonata−titanata svintsa i marganets-tsinkovykh ferritov / Yu. S. Prilipko // Poroshkovaya metallurgiya. − 2009. − №. 12. − S. 70—76.
3. Kaneva, I. I. Tekhnologiya materialov magnitoelektroniki. Laboratornyy praktikum / I. I. Kaneva, S. V. Podgornaya, V. G. Andreev. − M. : MISiS, 2012.
4. Ferrity, magnitodielektriki. Spravochnik / N. D. Gorbunov, G. A. Matveev − M. : Sovetskoe radio, 1968. − 165 s.
5. Biktyakov, R. M. Stabil'nost' svoystv ferritov (Analiz fizicheskikh svoystv pri vneshnikh vozdeystviyakh, prognozirovanie. Elementy proektirovaniya.) / R. M. Biktyakov, D. V. Gaskarov, Yu. S. Zvorono i dr. − M. : Sovetskoe radio, 1974.
6. Gorelik, S. S. Protsessy rekristallizatsii v ferritakh i puti upravleniya imi / S. S. Gorelik, I. S. Rybachuk, I. I. Kaneva // V kn.: Metally i splavy v sovremennom priborostroenii i radioelektronike. − M. : Znanie, 1981. − S. 48—51.
7. Gorelik, S. S. Rekristallizatsiya metallov i splavov / S. S. Gorelik, S. V. Dobatkin, L. M. Kaputkina. − M. : MISiS, 2005. − 431s.
8. Sinayskiy, Yu. M. Diss. kand., 1972.
9. Ulanovskiy, B. M. Diss. … kand. tekhn. nauk: Issledovanie, razrabotka i vnedrenie ferritovykh materialov dlya elementov BIAKS i tekhnologii ikh izgotovleniya / B. M. Ulanovskiy. − M. : MISiS, 1982. − 161 s.
10. Letyuk, L. M. Zakonomernosti formirovaniya mikrostruktury ferritov, spekaemykh v prisutstvii zhidkoy fazy / L. M. Letyuk, N. D. Dugar−Zhabon i dr. // Izv. vuzov. Chernaya metallurgiya. − 1979. − S. 124—127.
11. Palmer, G. The influence of dopations to the microstructure of Mg—Mn−ferrites / G. Palmer, R. Johnston, R. Schultz // J. Amer. Ceram. Soc. − 1957. − V. 40, N 2. − P. 256—261.