ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ | |
Название | Применение метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок кремния |
Автор | И. С. Смирнов, Е. Г. Новоселова, А. А. Егоров, И. С. Монахов |
Информация об авторе | Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ И. С. Смирнов, Е. Г. Новоселова, А. А. Егоров И. С. Монахов |
Реферат | В настоящее время особую значимость приобретают методы мониторинга, позволяющие измерять параметры пленочных структур непосредственно во время их формирования — in situ методы. Применение этих методов способствует получению пленок с заданными характеристиками, позволяя оперативно корректировать режимы технологического процесса. Рассмотрены возможности метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок в процессе их формирования. Приведены результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на кремниевые подложки. |
Ключевые слова | Кремний, магнетронное напыление, рентгеновская рефлектометрия |
Библиографический список | 1. Новоселова, Е. Г. Материалы IV Междунар. науч. семинара «Современные методы анализа дифракционных данных» / Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, М. Г. Тюрганов. − В. Новгород, 2008. − С. 150—152. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |