Журналы →  Материалы электронной техники →  2013 →  №1 →  Назад

ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
Название Применение метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок кремния
Автор И. С. Смирнов, Е. Г. Новоселова, А. А. Егоров, И. С. Монахов
Информация об авторе

Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ

И. С. Смирнов, Е. Г. Новоселова, А. А. Егоров

ФГБНУ «Научно−исследовательский институт перспективных материалов и технологий»

И. С. Монахов

Реферат

В настоящее время особую значимость приобретают методы мониторинга, позволяющие измерять параметры пленочных структур непосредственно во время их формирования — in situ методы. Применение этих методов способствует получению пленок с заданными характеристиками, позволяя оперативно корректировать режимы технологического процесса. Рассмотрены возможности метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок в процессе их формирования. Приведены результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на кремниевые подложки.

Ключевые слова Кремний, магнетронное напыление, рентгеновская рефлектометрия
Библиографический список

1. Новоселова, Е. Г. Материалы IV Междунар. науч. семинара «Современные методы анализа дифракционных данных» / Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, М. Г. Тюрганов. − В. Новгород, 2008. − С. 150—152.
2. Мишетт, А. Оптика мягкого рентгеновского излучения / А. Мишетт. − М. : Мир, 1989. − 351 с.
3. Tolan, M. X−ray scattering from soft matter thin films. Material science and basic research. // M. Tolan / Springer tracts in modern physics. − 1999. − V. 148. − P. 197.
4. Виноградов, А. В. Зеркальная рентгеновская оптика / А. В. Виноградов, И. А. Брытов, А. Я. Грудский и др. − Л. : Машиностроение, 1989. − 463 с.
5. Белянин, А. Ф. Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович. − М. : ЦНИТИ «Техномаш», 2008. − 256 с.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад