Магний, титан, редкие металлы, полупроводники | |
Название | Определение удельной скорости низкотемпературного гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния |
Автор | Аркадьев А. А., Кох А. А., Чапыгин А. М., Новиков А. В., Шварев К. П. |
Информация об авторе | А. А. Аркадьев, вед. науч. сотр., e-mail: girotd2@giredmet.ru; А. А. Кох, вед. науч. сотр.; А. М. Чапыгин, вед. науч. сотр.; А. В. Новиков, науч. сотр.; К. П. Шварев, науч. сотр., ОАО “Гиредмет”. Авторы выражают благодарность Ю. Н. Назарову (зав. лабораторией, канд. техн. наук) за участие в обсуждении результатов работы. |
Реферат | Приведены описание и результаты исследований в области технологии получения трихлорсилана (ТХС), являющегося сырьем для производства поликристаллического кремния. Описана лабораторная установка низкотемпературного гидрирования тетрахлорида кремния. Проведенные исследования направлены на решение проблемы конверсии тетрахлорида кремния, образующегося в больших количествах и при прямом синтезе ТХС, и в производстве поликристаллического кремния. Определено значение удельной скорости процесса низкотемпературного гидрирования тетрахлорида кремния, протекающего с достижением максимального содержания ТХС в синтезируемой парогазовой смеси. |
Ключевые слова | Tрихлорсилан, поликристаллический кремний, удельная скорость, низкотемпературное гидрирование, парогазовая смесь, реактор псевдоожиженного слоя, электропечь. |
Библиографический список | 1. Бочкарев Э. П., Елютин А. В., Иванов Л. С. и др. Низкотемпературное гидрирование тетрахлорида кремния // Кремний-96 : тез. докл. 1-й Всерос. конф. по материаловедению и физико-химическим основам технологии получения легированных кристаллов кремния. — M., 1996. C. 293. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |