ИФЯЭ НИЯУ МИФИ:

К. Д. Ванюхин

Л. А. Сейдман

ФГАОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»:

С. П. Кобелева

ФГУП «НПП «Пульсар»:

Ю. А. Концевой

В. А. Курмачев

Методом термического испарения в вакууме на пластины кремния КЭФ−20 с ориентацией (100), диаметром 100 мм нанесены наноразмерные пленки Ti, Al, Ni, Cr и Au. С помощью измерений толщины пленок и поверхностного электросопротивления четырехзондовым методом оценено значение и однородность распределения удельного электросопротивления металлических пленок. Показано, что удельное электросопротивление таких пленок заметно превышает этот параметр для объемных материалов. Наблюдаемое увеличение поверхностного сопротивления на краях пленки связано как с уменьшением толщины пленки, так и с ростом удельного электросопротивления материала пленки. Отработанные режимы использованы для получения металлических слоев на подложках из нитрида галлия.

Работа ИФЯЭ НИЯУ МИФИ выполнена при частичной поддержке Минобрнауки России в рамках проекта «Разработка конструкции и промышленной технологии изготовления твердотельных компонентов на широкозонном материале GaN» № 138/2010У от 10.08.2010.

Измерения поверхностного сопротивления выполнены на оборудовании ЦКП «Материаловедение и металлургия» НИТУ «МИСиС».

1. Куэй, Р. Электроника на основе нитрида галлия / Р. Куэй. − М. : Техносфера, 2011. − 592 с.
2. Васильев, А. Г. СВЧ−приборы и устройства на широкозонных полупроводниках / А. Г. Васильев, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой − М. : Техносфера, 2011. − 416 с.
3. Васильев, А. Г. СВЧ−транзисторы на широкозонных полупроводниках : учеб. пособие / А. Г. Васильев, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой − М. : Техносфера, 2011. − 256 с.
4. Кобелева, С. П. Методы измерения электрофизических параметров монокристаллического кремния / С. П. Кобелева // Заводская лаборатория. − 2007. − № 1. − С. 60—67.
5. Физические величины : справочник / Под. ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. − М. : Энергоатомиздат, 1991. − 1232 с.
6. Технология тонких пленок : справочник / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. − М. : Советское радио, 1977. − Т. 2. − 662 с.