Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинское отделение:

И. П. Шилов

Л. Ю. Кочмарев

ЗАО ЦНИТИ «Техномаш−ВОС»:

Н. Т. Ключник

М. Я. Яковлев

Представлены результаты разработки и исследования технологии получения планарных градиентных волноводов на основе нанослоев фторированного кварцевого стекла в плазме СВЧ−разряда пониженного давления. Исследованы оптические характеристики планарных градиентных волноводов, рассмотрены вопросы их применения в многоканальных оптических разветвителях.

1. Засовин, Э. А. Многополюсные волоконно−оптические разветвители для локальных систем передачи информации / Э. А. Засовин, Н. Т. Ключник, М. Я. Яковлев // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 44—49.
2. Берикашвили, Ш. Интегрально−оптические волноводные дисперсионные элементы для ВОЛС / Ш. Берикашвили, Н. Т. Ключник, К. Н. Костенко, М. Я. Яковлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. − 2005. − № 2. − С. 10—16.
3. Берикашвили, В. Ш. СВЧ−плазмохимическое осаждение планарных волноводных структур на основе кварцевого стекла / В. Ш. Берикашвили, В. В. Григорьянц, Н. Т. Ключник, Л. Ю. Кочмарев, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Микросистемная техника. − 2004. − № 8. − С. 28—33.
4. Artjushenko, V. G. Plasmo−chemical synthesis of power fiber silica structures in a plasma of RF− and SRF−discharges / V. G. Artjushenko, L. M. Blinov, V. V. Volodko, Yu. V. Guljaev, E. M. Dianov, A. M. Prokhorov, V. P. Pashinin, A. M. Solomatin, I. P. Shilov // J. Soviet Lightwave Communications. − 1992. − N 2. − P. 171—182.
5. Лебедев, И. В. Техника и приборы СВЧ / И. В. Лебедев. − М. : Высшая школа, 1970. − Т. 1. − 245 с.
6. Котюк, А. Ф. Введение в технику измерений оптико−физических параметров световодных систем / А. Ф. Котюк, Ю. А. Курчатов, Ю. П. Майборода. − М. : Радио и связь, 1987. − 224 с.
7. Житковский, В. Д. Многомодовые разветвители на основе планарных оптических волноводов для информационных систем подвижных объектов / В. Д. Житковский, Н. Т. Ключник, И. П. Шилов, М. Я. Яковлев // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. − 2005. − № 1/2. − С. 50—61.
8. Ключник, Н. Т. Волоконно−оптические разветвители на основе слоевых световодных структур / Н. Т. Ключник // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 39—43.
9. Адамс, М. Введение в теорию оптических волноводов / М. Адамс. − М. : Мир, 1984. − 512 с.