Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии
микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук:

Д. В. Рощупкин

Е. В. Емелин

ОАО «Фомос–Материалс»:

О. А. Бузанов

Исследован процесс переполяризации сегнетоэлектрического кристалла LiTaO₃ методом прямой электронно−лучевой литографии. Продемонстрирована возможность формирования доменной структуры с шириной доменнов ~1 мкм. Показано, что в 127^° Y'−срезе кристалла LiTaO3 сегнетоэлектрические домены формируются под углом 37° к поверхности кристалла и растут от отрицательной поверхности к положительной вдоль полярной оси Z.

Исследования по формированию 180°−сегнетоэлектрических доменных структур в кристаллах LiTaO3 проведены в рамках ГК 16.513.12.3002.

1. Ito, H. Fabrication of periodic domain grating in LiNbO₃ by electron beam writing for application of nonlinear optical processes / H. Ito, C. Takyu, H. Inaba // Electron. Lett. − 1991. − V. 27. − P. 1221—126.
2. Fujimura, M. Quasi−phase−matched self−frequency doubling waveguide laser in Nd : LiNbO₃ / M. Fujimura, T. Kodama, T. Suhara, H. Nishihara // IEEE Photon. Tech. Lett. − 2000. − V. 12. − P. 1513—1515.
3. Sasaki, Y. Terahertz−wave surface−emitted difference frequency generation in slant−stripe−type periodically poled LiNbO₃ crystal / Y. Sasaki, Yu. Avetisyan, K. Kawase, H. Ito // Appl. Phys. Lett. − 2002. − V. 81. − P. 3323—3325.
4. Roshchupkin, D. V. Scanning electron microscopy observation of excitation of the surface acoustic waves by the regular domain structures in the LiNbO₃ crystals / D. V. Roshchupkin, T. Fournier, M. Brunel, O. A. Plotitsyna, N. G. Sorokin // Ibid. − 1993. − V. 60. − P. 23303—23304.
5. Roshchupkin, D. V. Reflection of surface acoustic waves on domain walls in a LiNbO₃ crystal / D. V. Roshchupkin, M. Brunel, R. Tucoulou, E. Bigler, N. G. Sorokin // Ibid. − 1994. − V. 64. − P. 164—165.
6. Cheng, S. Growth and transducer properties of an acoustic superlattice with its periods varying gradually / S. Cheng, Y. Zhu, Y. Lu, N. Ming // Ibid. − 1995. − V. 66. − P. 291—292.
7. Wan, Z. Fabrication of acoustic superlattice LiNbO₃ by pulsed current induction and its application for crossed field ultrasonic excitation / Z. Wan, Q. Wang, Y. Xi, Y. Lu, Y. Zhu, N. Ming // Ibid. − 2000. − V. 77. − P. 1891—1892.
8. Ishigame, Y. LiNbO3 waveguide second−harmonic−generation device phase matched with a fan−out domain−inverted grating / Y. Ishigame, T. Suhara, H. Nishihara // Opt. Lett. − 1991. − V. 16. − P. 375—377.
9. Yamamoto, K. Characteristics of periodically domain−inverted LiNbO₃ and LiTaO₃ waveguides for second harmonic generation / K. Yamamoto, K. Mizuuchi, T. Takeshige, Y. Sasai, T. Taniuchi // J. Appl. Phys. − 1991. − V. 70. − P. 1947—1951.
10. Bermudez, V. Bulk periodic poled lithium niobate crystals doped with Er and Yb / V. Bermudez, M. D. Serrano, E. Dieguez // J. Cryst. Growth. − 1999. − V. 200. − P. 185—190.
11. Gupta, M. C. Second−harmonic generation in bulk and waveguided LiTaO₃ with domain inversion induced by electron beam scanning / M. C. Gupta, W. Kozlovsky, A. C. G. Nutt // Appl. Phys. Lett. − 1994. − V. 64. − P. 3210—3212.
12. Rosenman, G. Submicron ferroelectric domain structures tailored by high−voltage scanning probe microscopy / G. Rosenman, P. Urenski, A. Agronin, Y. Rosenwaks, M. Molotskii // Ibid. − 2003. − V. 82. − P. 103—105.
13. Terabe, K. Microscale to nanoscale ferroelectric domain and surface engineering of a near−stoichiometric LiNbO₃ crystal / K. Terabe, M. Nakamura, S. Takekawa, K. Kitamura, S. Higuchi, Y. Gotoh, Y. Cho // Ibid. − 2003. − V. 82. − P. 433—435.
14. Yamada, M. First−order quasi−phase matched LiNbO₃ waveguide periodically poled by applying an external field for efficient blue second−harmonic generation / M. Yamada, N. Nada, M. Saitoh, K. Watanabe // Ibid. − 1993. − V. 62. − P. 435—436.