Магний, титан, редкие металлы, полупроводники | |
ArticleName | Производство белой сажи из отходов производства полупроводникового кремния |
ArticleAuthor | Кожемякин В. А., Почтарёв А. Н., Чапыгин А. М. |
ArticleAuthorData | ООО ЗПК «Кристалл» НТЦ «Кремний», г. Елабуга, Россия: В. А. Кожемякин, вед. науч. сотр., эл. почта: Kozhemyakin_va@mostovik.ru А. М. Чапыгин, вед. науч. сотр.
ОАО «Гиредмет», г. Москва, Россия: А. Н. Почтарёв, зав. лаб. |
Abstract | Представлены результаты лабораторных исследований абсорбции тетрахлорида кремния раствором кальцинированной соды. Процесс абсорбции имитирует обезвреживание отходящих газов (абгазов) производства трихлорсилана и поликристаллического кремния. Смесь паров тетрахлорсилана и технического аргона подают в барботер с раствором кальцинированной соды. Парциальное давление тетрахлорида кремния в парогазовой смеси 20–50,7 кПа. Начальная концентрация Na2CO3 в барботере 15,2–16,2 %. Процесс поглощения тетрахлорида кремния раствором соды заканчивают при рН = 7. Полученную суспензию разделяют фильтрацией на рассол с содержанием ~20 % NaCl и гидратировнный осадок диоксида кремния [Si(OH)4]·nH2O. В осадке содержится от 73,5 до 84,5 % Н2О. Осадок отфильтровывают под вакуумом от маточного раствора — рассола хлорида натрия. Скорость фильтрации маточника составляет 0,56–1,5 м3/(м2·ч). Для удаления растворимых солей (NaCl, NaHCO3) осадок промывают дистиллированной водой. Скорость фильтрации промывной воды равна 0,27–0,55 м3/(м2·ч). Высушенный при 100–105 оС осадок диоксида кремния по физико-химическим свойствам соответствует товарному продукту белая сажа марок БС-100 и БС-120. Полученный из отходов газоочистки хлорид натрия (твердая соль или рассол) пригоден в качестве исходного сырья для электролитического получения хлора и возврата его в рецикл на синтез хлористого водорода и производство трихлорсилана и поликристаллического кремния. |
keywords | Абсорбция, хлорсиланы, сода кальцинированная, утилизация, диоксид кремния, сажа белая, хлорид натрия, рецикл |
References | 1. Станишевский М. Россия становится важным игроком мирового рынка солнечной энергетики // The Chemical Journal. 2008. Сентябрь. С. 22–28. |
Language of full-text | russian |
Full content | Buy |