Методами сканирующей зондовой микроскопии исследована поверхность кремний-углеродных пленок, содержащих частицы нанофазы на основе хрома и тантала. Изображения поверхности пленок, полученные методом атомно-силовой микроскопии (АСМ), показали наличие случайных шероховатостей, в то время как образы, полученные методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ), представляют собой (в зависимости от типа металла и его концентрации) плотно расположенные вытянутые образования до 120 нм шириной и до 200 нм длиной. Сделано предположение, что СТМ-образы, формируемые рельефом поверхности и распределением работы выхода электронов, характеризуют распределение частиц нанофазы в структуре пленок. Установлено, что пространственно неоднородное распределение частиц в пленке коррелирует с обнаруженной ранее анизотропией электропроводности (аналогичных объектов) металлсодержащих кремний-углеродных пленок.

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (г.к. 16.552.11.7009). Исследования проводили на оборудовании центра коллективного пользования «Материаловедение и металлургия» НИТУ «МИСиС».

1. Малинкович, М. Д. Технология получения, структура и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин. // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. - 2005. - № 3. - С. 12—16.
2. Гантмахер, В. Ф. Электроны в неупорядоченных средах / В. Ф. Гантмахер. - М : Физматлит, 2005.
3. Dofman, B. F. Critical parameters of percolation in metal-dielectric diamond-like composites of atomic scale / B. F. Dofman // Thin solid films. - 1998. - V. 330. - P. 76—82.
4. Малинкович, М. Д. Структура поверхности нанокомпозитов на основе кремний-углеродной матрицы, выявленная методами сканирующей зондовой микроскопии / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Д. С. Поляков, М. Л. Шупегин. // Изв. вузов. Материалы элетрон. техники. - 2010. - № 1. - С. 41—45.
5. Бублик, В. Т. Исследование структуры металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей / В. Т. Бублик, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Н. Ю. Табачкова, М. Л. Шупегин. // VI Нац. конф. по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. - М. : ИКРАН, 2007. - С. 349.
6. Пат. РФ № 2297471. Способ получения проводящих нанокомпозитных покрытий, содержащих металл в кремний-углеродной матрице / М. Л. Шупегин, Ю. Н. Пархоменко, М. Д. Малинкович, Г. Ф. Воробьева, А. П. Смирнов. Опубл. 2007.
7. Григорьев, А. И. Об отсутствии зарядовой симметрии электростатического взаимодействия заряженных капель или твердых частиц / А. И. Григорьев. // ЖТФ. - 2010. - Т. 80. - С. 75—79.